过大，可调整跳开设定值 如依然常常会呈现开关跳开，测验替换RT2 Roots内部机械部件问题，返厂修理
如开机时跳开，查看ADP是否有卡死，测验摇泵 如真空泵运转中呈现开关跳开，测验替换RT1 如问题任旧存在，或许是机械部分引起，主张返厂修理
2)客户机台是否有大漏，请客户承认 ADP是否回转，查看排气压力承认 ADP是否卡死，测验手动旋转转子
撤除排气管查看，如果有堵请及时清洗收拾 2)排气压力Sensor或信号线或许有问题，
承认LI1,LI2,L3的衔接是否杰出 组合泵上最上端的Roots内部感应器是否有问题 承认Roots马达温度或内部转子出没呈现问题
承认水质是否杰出，较脏或许导致水流量计卡死 2)流量计感应器或许失效，替换水流量计
表面现象： 1)输入电压缺相，线)输入电压与变压器设置不符 3)变压器弱电输出反常，真空泵无法发动
表面现象： 1)冷却水流量小于80L/h 2)水流量大于80L/h，依然报警
注：手不坚定泵操作 1)3mm内六角翻开左边轴承盖 2)使用21mm套筒扳摇摆ADP转 子，用力不能过大避免转子开裂 。
撤除排气管查看，如果有堵请及时清洗收拾 尾气处理设备是否有堵 排气压力Sensor或信号线或许有问题，测验替换 M4或许有问题，测验替换
表面现象： 1)机台腔体压力无法下降至规范压力，如30mtorr 2)腔体压力可以到达规范，但通工艺气体后腔体压力较高
主要原因： 承认排气管压力是否大于1300mbar，整理排气管道 检漏仪承认Foreline是否有漏，处理漏点 测验两个相同工艺下的真空泵对换，抽速是否跟着泵的搬运而搬运
表面现象： 1)Roots作业频率反常 2)Roots无法发动 3)Roots运转正常，但依然报警
主要原因： 1)承认客户端是否有大漏或大流量气体注入导致负载过高 2)承认变频器接线是不是正确，如问题仍在测验替换变频器 3)承认“RP”端口是否衔接正确，如仍有问题测验替换M4
表面现象： 1)Roots或ADP低压端温度，小于温度设置下线，或大于温度设置
冷却水流量是否缺乏80L/h，请调整 冷却水质是否不良，请整理AUX电磁阀
