射流真空泵设备工艺原理

  射流真空泵设备工艺原理射流真空泵是真空装置中一种重要的设备，大范围的应用于各种真空系统中。本文将介绍射流真空泵的工艺原理。射流真空泵原理射流真空泵是利用高速气流产生的吸气效应抽取气体实现真空的一种设备。它由喷嘴、中间面板和扩散室构成。当工作气体从喷嘴中高速喷出，并冲击与中间面板相遇时，产生强烈的热动力学效应，将气体带入扩散室。由于扩散室壁面密闭，使气体不断扩散，经过多次喷出和冲击后逐渐被抽取。设备工艺射流真空泵装置具有一定的工艺技术要求，以下分别从工艺流程、工艺参数和安装的地方三方面做介绍。工艺流程射流真空泵的工艺流程大致上可以分为预抽和正式抽真空两个步骤。预抽阶段：在真空泵系统内连续通入数倍标准大气压的氮气或干燥空气，直到真空度达到隔板泵的工作范围。正式抽真空阶段：放开扩散室上部的截止阀门，开始抽气。由于射流真空泵的特殊工作原理，一段时间内大气总量迅速减少到一些范围，以后吸气毛细管的速度逐渐变慢。工艺参数射流真空泵的参数应该根据其独特的工作原理来确定。抽气速率：射流真空泵能达到的最大抽气速率与气体压力有关。当进口压力较高时，速率会较快。游离分子抽取效率：冷却水温度对游离分子抽取效率有很大影响。冷却水温度越低，游离分子的抽取效率越高。蒸发沉积物的清除效率：清除效率主要与扩散室清洁度和射流泵稳态运行时间有关。通常样品夹温度高、真空度多次升高才可以做到较高的清除效率。安装的地方射流真空泵应安装在真空系统的高真空端，通常是漏斗形，以保证气体的快速抽出和扩散。在安装时要注意减少气体的冷却和漏磁现象。总结射流真空泵是一种利用高速气流产生吸气效应抽取气体实现真空的设备，其工艺技术要求包括工艺流程、工艺参数和安装的地方三方面。合理的工艺和优质的设备能保证真空系统的高效运作。