真空泵是制造业重要的通用设备,利用很多方法在封闭空间内产生、提高和维持真空的装置,大范围的应用于半导体、工业真空等领域。分子泵适用于高真空和超高真空度范围,按照轴承特性可大致分为油润滑、脂润滑、磁悬浮三类。其中磁悬浮分子泵采用非接触式磁悬浮轴承,具有转速高、寿命长等特点。
分子泵于1912年诞生,德国人W.Gaede发明出世界首台分子泵,但是早期应用较为受限。20世纪50-70年代,分子泵研发发展较快,中国也于1964年开始研发分子泵。磁悬浮分子泵于20世纪80年代开始研发,并在21世纪开始被普遍的使用。磁悬浮分子泵相对于油润滑分子泵和脂润滑分子泵更加节能、高效、灵活,磁悬浮无摩擦,且能更长的连续工作,适用于半导体、光伏、平板显示新能源等领域。
新思界产业研究中心整理发布的《2024-2028年中国磁悬浮分子泵市场行情监测及未来发展前途研究报告》显示,近年来,中国分子泵市场规模持续增长,主要是由于下游市场需求持续增长带动的。一方面,随着全球半导体产业链向中国转移,中国半导体产业规模持续增长,半导体领域对分子泵的需求量开始上涨;此外5G基站基建配套设施逐步完善,新能源电池、光伏设备等领域的需求也在持续增长。预计今后几年中国分子泵市场规模也将持续增长。其中磁悬浮分子泵优势显著,是现代分子泵发展的主要流行趋势,近年来行业发展快速,市场规模增速较快。
全球磁悬浮分子泵产品生产企业主要有德国普发Pfeiffer、英国爱德华Edwards、德国莱宝Leybold,国内企业主要有中科科仪、天津飞旋。国外分子泵公司发展较早,且相关企业在中国市场布局也较早,国内企业及科研院所对相关企业认知度较高,在市场之间的竞争中占据优势地位,占有较大的市场占有率。德国普发Pfeiffer成立于1890年,1958年发明分子泵,产品涵盖混合轴承分子泵及磁悬浮分子泵(如型号ATH1603)。中科科仪成立于1958年,业务领域覆盖扫描电子显微镜、氦质谱检漏仪等科学仪器设施和分子泵、真空应用设备等核心零部件及产业设备,磁悬浮分子泵产品有CXF-200/1401、CXF-200/1402、CXF-250/2301、CXF-250/2302、CXF-320/3001、CXF-320/3002,可应用于科学研究、加速器、光伏、镀膜、新能源、新材料、半导体等领域。天津飞旋是专门干磁悬浮非常快速地旋转机械的设计、研发、生产及产业化应用的高新技术企业,其磁悬浮复合分子泵抽速范围1000-2300L/S,最高转速42000rpm,极限线Pa,应用于科研、节能玻璃、太阳能光伏、液晶面板制造等行业。