第四步:开机械泵和前级阀。点击操控器触摸屏上的机械泵和前级阀,将他们点 亮。看真空计左面的窗口显现的数字,这一个数字显现分子泵里边的真空度(开前 级阀是为了抽分子泵里边的空气) 。在左面窗口的线Pa,这说明真空 室内的密封性很好,然后后持续下一步。
第五步:这样一个时间段,能够关上真空室的门。触摸屏上关前级阀,开预抽阀。调查 真空计右边的窗口(显现真空室内的气压,一开端或许没有示数,需求抽一会才 有示数) ,将线pa 左右,才干进行下一步。下图是线pa 的巨细气压。
第六步: 下一步开分子泵。 关预抽阀, 开前级阀和高阀就能够。 翻开分子泵电源, 点击发动,就就能够敞开分子泵了。
第七步:分子泵封闭流程:点中止,直到显现屏中数字并未 0,封闭电源。关高 阀和前级阀。 全体体系封闭:封闭一切的阀门,开充气阀。充溢气后,关抽气泵电源。关总电 源。
第一步: 翻开总电源。 将操控架上的总操控器 (下图 1 处) 和线 处) 的电源翻开。等候下一步指示。
第二步:关报警音。翻开电源后,真空泵操控台会有很响的噪声。这样一个时间段,点 击操控台触摸屏上的“报警音” ,即可封闭报警声。
第三步:开抽气泵。下图是一个抽气泵,然后把电源线插上。假如电源线插着, 就把插座的开关翻开,然后气泵就开端压缩空气了。