法国Alcatel阿尔卡特真空泵,是一个国际性的真空泵品牌,为客户供给真空泵、检漏仪、真空计以及微加工体系等。阿尔卡特的机械泵(油润旋片泵、干式真空泵)广为人知,抽速从0.5L/S到30L/S,大范围的使用于捡漏、冷冻枯燥、化工分馏、微电子工业、分析仪器、冰箱空调生产线等各种职业。
阿尔卡特Alcatel的干式真空泵,在半导体工业中的使用是家喻户晓的。其分为三个等级,H型针对十分严苛的工艺;P型针对中等工艺;LM型,针对洁净的工艺。具有体积小,占地面积小,运用成本低,高抽速以及高极限压力,在严苛的环境下,具有十分超卓的运转作用。这几年,跟着国产真空技术和结构晋级,作为国产真空泵的代表之一,好凯德干式真空泵在半导体职业中的使用广度和深度有很大提高。
好凯德干式真空泵使用于半导体职业的要害长处是:1.消除了工艺进程污染油或油搭载进入尾气处理体系的危险2.不会产生废物、或许污染名贵的溶剂、产品或环境3.它是彻底枯燥的,对上下流工艺没有一点污染4.干式真空泵中不可能会产生任何腐蚀5.功率更加高,耗电更少6.吸入的溶剂或其他有用的成分能够在泵的出口直接收回知道更多,请联络好凯德。
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