氧化陶瓷是一种以氧化铝(Al2O3)为主体的陶瓷资料,用于厚膜集成电路。氧化铝陶瓷有较好的传导性、机械强度和耐高温性。对氧化铝陶瓷的增韧是现在运用增韧方法是增加百分之二十的氧化锆(ZrO2)增韧。当氧化铝中参加纯Zr02,粒子构成ZrO2增韧氧化铝陶瓷时,当增加含量适其时,可使耐性明显进步。
因为氧化铝陶瓷资料的硬度较好,需要用较硬的研磨抛光砖资料来完结,如SIC、B4C或金刚钻。此外,在抛光过程中,氧化铝陶瓷资料表面的润滑性应提早得到改善。
在氧化铝陶瓷资料的精加工中,常用的方法是由粗到细逐渐研磨,然后抛光表面。氧化铝陶瓷抛光时,运用的是小于1μm微米的Al203微粉或者是用金刚钻糊进行研磨和抛光。当然,激光加工和超声波加工也能够抵达研磨和抛光氧化铝陶瓷的目的。
以上是改善氧化铝陶瓷表面光洁度的收拾处理,然后是增强氧化铝陶瓷机械强度的处理,即氧化铝陶瓷强化技术。事实上,氧化铝陶瓷表面采用了电子射线真空镀膜、溅射真空镀膜或化学气相堆积等先优秀技术,使氧化铝陶瓷得到了增韧。
氧铝陶瓷机械度,缘电阻,硬度,磨、及温等系列,其应于陶瓷、纺织、石油、工、修建及电子等各个作业,是现在氧物陶瓷半途较、产销量较的陶瓷资料。通氧铝陶瓷为两类,类是铝瓷,特别是刚玉瓷。铝瓷是以AL2O3和SIO2为首要成的陶瓷,其间AL2O3的含量在45以上,跟着AL2O3含量的多,铝瓷的各项方针所。因为瓷坯中主晶相的不同,又为刚玉瓷、刚玉莫来石瓷、英来石瓷、莫来石瓷等。
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